[实用新型]硅片收料盒及硅片分档收料装置有效

专利信息
申请号: 202021063982.6 申请日: 2020-06-10
公开(公告)号: CN212085034U 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 李文;黄莉莉;李昶;李泽通;徐飞 申请(专利权)人: 无锡奥特维科技股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677;H01L21/673
代理公司: 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 代理人: 章陆一;孙际德
地址: 214000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种硅片收料盒及硅片分档收料装置。本实用新型中的硅片收料盒包括料盒底板、第一侧板及料盒调节板;第一侧板垂直固定连接在料盒底板上;料盒调节板包括底部调节板与侧边调节板,侧边调节板垂直固定连接在底部调节板上,侧边调节板垂直于第一侧板,底部调节板上安装有滑动结构,滑动结构使底部调节板沿着平行于第一侧板的方向滑动。硅片收料盒中设置有料盒调节板,可改变料盒内硅片收纳空间的大小,使该收纳空间与硅片的规格相适应,从而可兼容多规格硅片的收纳。本实用新型中的硅片分档收料装置采用可兼容多规格硅片收纳的硅片收料盒,使硅片分档收料装置的通用性好。
搜索关键词: 硅片 收料盒 分档 装置
【主权项】:
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