[实用新型]一种CDS供液系统气体加湿装置有效

专利信息
申请号: 202021068996.7 申请日: 2020-06-11
公开(公告)号: CN212303612U 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 徐竹林 申请(专利权)人: 南通华林科纳半导体设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人: 崔立青;王玉梅
地址: 226500 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种CDS供液系统气体加湿装置,该CDS供液系统气体加湿装置由原液桶、负压阀、第一过渡桶、第一阀组、第二过渡桶、第二阀组与配液桶构成,于所述负压阀的上下两端分别开设有进气口与出气口,且该负压阀的一侧具有连通口,所述负压阀通过连通口连接至所述第一过渡桶上,所述第一过渡桶通过连通管连接至原液桶上,所述第一过渡桶的正下端开设有一个出口,且第一过渡桶通过该出口连接配液桶与第二过渡桶。该一种CDS供液系统气体加湿装置,改变了多种溶液配比由手动转变成自动的过程,配比可随时改变,控制精度高,实现了配液过程中人与药液的隔离,确保人身安全,实现了自动化气体加湿。
搜索关键词: 一种 cds 系统 气体 加湿 装置
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