[实用新型]一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构有效
| 申请号： | 202021069825.6 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN212319113U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 晏玉碟;韦名英;夏可瑜 | 申请（专利权）人： | 东莞市升微机电设备科技有限公司 |
| 主分类号： | F16L41/03 | 分类号： | F16L41/03;F16L41/16;F17D3/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆英静 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种半挥发性有机物微型释放舱的半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，用于解决现有的气路连接结构运用带有一定污染物的流量调节装置对气体流量进行调节，从而影响气路中气体洁净度的技术问题。本实用新型实施例包括洁净气源；所述洁净气源连通有供气支路和校准支路；所述校准支路上连接有质量流量计，并且所述校准支路上连接有至少一个校准供气管道，每个所述校准供气管道上设有校准控制开关，每个所述校准供气管道上连接有一个集气管，所述集气管上设置有流量调节阀；所述供气支路上连接有工作供气管道，每个所述工作供气管道上设有工作控制开关，所述工作供气管道与集气管相连通；所述集气管连通有微舱。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 挥发性 有机物 微型 释放 连接 结构 | ||
【主权项】：
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