[实用新型]多路气体质量流量控制器用控制模块有效
| 申请号： | 202021070883.0 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN212009347U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 苗丁 | 申请（专利权）人： | 惠州市奥普康真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 王华强 |
| 地址： | 516127 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示一种多路气体质量流量控制器用控制模块，包括电源模块、微处理器模块、数据转换模块、驱动模块和通讯模块，微处理器模块与电源模块电连接，数据转换模块、驱动模块和通讯模块均与微处理器模块电连接，数据转换模块用于与多路气体质量流量控制器电连接，驱动模块用于与多路电动截止阀电连接，电动截止阀的数量与气体质量流量控制器的数量相同，各个气体质量流量控制器均与电源模块电连接，通讯模块用于与上位机通讯连接；本实用新型将气体质量流量控制器工作时所需的电源、流量控制功能和流量测量功能合为一体，这样一来，能够降低器件的配线成本，且有利于整个控制系统的模块化。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 质量 流量 控制 器用 模块 | ||
【主权项】：
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