[实用新型]一种晶体生长用加热系统有效
申请号: | 202021076544.3 | 申请日: | 2020-06-10 |
公开(公告)号: | CN213172675U | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 马争荣;王建玲 | 申请(专利权)人: | 高密普特电子设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/20 |
代理公司: | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人: | 殷盛江 |
地址: | 261500 山东省潍坊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶体生长技术领域,且公开了一种晶体生长用加热系统,包括底板,所述底板的顶部固定连接有限位支杆,所述限位支杆远离底板的一端固定连接有顶板,所述限位支杆的外部活动连接有滑块,所述滑块的内侧和固定套的外侧固定连接,所述固定套的内部固定连接有导管,所述导管远离固定套一端的外部固定安装有控制阀,所述控制阀的外部固定安装有控制器。该晶体生长用加热系统,通过启动驱动电机带动传动轮旋转使活动限位杆上下移动,从而改变导管的出气范围,增加热气进入的效率,在热气进入晶体生长炉时,温度检测器通过检测导管对热气的传导进行温度检测,并将检测到的温度传输到控制器上进行显示。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 加热 系统 | ||
【主权项】:
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