[实用新型]镀膜装置以及镀膜设备

摘要

本实用新型公开了镀膜装置（100）以及镀膜设备（300），其中，镀膜装置（100）可用于在热丝化学气相沉积法中对基板（205）进行镀膜，具有用于对基板（205）进行镀膜的镀膜腔（110），镀膜腔（110）内间隔地设置有三个以上具有热丝的镀膜部（120），相邻的两个镀膜部（120）之间，容许单块基板（205）流过，且相邻的两个镀膜部（120）设置为分别对流过它们之间的基板（205）的与其相对的一面进行镀膜。本实用新型的镀膜装置（100），能够实现在同一个镀膜腔（110）内对基板（205）的两面进行镀膜。