[实用新型]一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟有效

专利信息
申请号: 202021077833.5 申请日: 2020-06-11
公开(公告)号: CN212182288U 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 申请(专利权)人: 上海弘竣新能源材料有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;C23C16/458
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201708 上海市青浦区华*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,包括石墨舟片,所述石墨舟片设有多片,所述石墨舟片包括石墨舟片体和两端的凸耳,所述石墨舟片体上设有硅片位,所述硅片位设有多个,所述相邻的硅片位之间上端设有陶瓷梳卡槽,下端开有陶瓷杆穿插孔,所述陶瓷梳卡槽卡接陶瓷梳,所述陶瓷梳卡槽和陶瓷杆穿插孔之间分布有卡点孔,内部固定有卡点,所述凸耳上设有穿孔,所述穿孔用于安装陶瓷杆Ⅰ,所述多片石墨舟片中部通过陶瓷梳和陶瓷杆连接,两端凸耳通过陶瓷杆Ⅰ进行连接,并通过锁紧螺母锁紧陶瓷杆和陶瓷杆Ⅰ两端。本装置使用陶瓷梳代替石墨舟片上部的陶瓷杆,可以在石墨舟片总长度不变的情况下,增加硅片位的数量,提高产量。
搜索关键词: 一种 利用 陶瓷 替换 增加 产量 石墨
【主权项】:
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