[实用新型]一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟有效
申请号: | 202021077833.5 | 申请日: | 2020-06-11 |
公开(公告)号: | CN212182288U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣新能源材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C23C16/458 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201708 上海市青浦区华*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种利用陶瓷梳替换陶瓷杆增加产量的石墨舟,包括石墨舟片,所述石墨舟片设有多片,所述石墨舟片包括石墨舟片体和两端的凸耳,所述石墨舟片体上设有硅片位,所述硅片位设有多个,所述相邻的硅片位之间上端设有陶瓷梳卡槽,下端开有陶瓷杆穿插孔,所述陶瓷梳卡槽卡接陶瓷梳,所述陶瓷梳卡槽和陶瓷杆穿插孔之间分布有卡点孔,内部固定有卡点,所述凸耳上设有穿孔,所述穿孔用于安装陶瓷杆Ⅰ,所述多片石墨舟片中部通过陶瓷梳和陶瓷杆连接,两端凸耳通过陶瓷杆Ⅰ进行连接,并通过锁紧螺母锁紧陶瓷杆和陶瓷杆Ⅰ两端。本装置使用陶瓷梳代替石墨舟片上部的陶瓷杆,可以在石墨舟片总长度不变的情况下,增加硅片位的数量,提高产量。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 陶瓷 替换 增加 产量 石墨 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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