[实用新型]一种反应炉腔内载片结构有效
| 申请号： | 202021080254.6 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN212392256U | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;庞爱锁;刘群;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种反应炉腔内载片结构，包括舟托、舟；所述舟托上设置有至少一个舟，舟的长度方向与舟托的长度方向垂直或近似垂直；硅片设置于舟，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直；本实用新型通过多个舟分别载硅片并设置于舟托或桨上，同时舟与舟托或桨垂直设置，硅片与舟的长度方向垂直，硅片与舟托或桨的长度方向平行，上述舟与舟托或桨的结合方式，对于炉管直径方向上的空间利用更充分，提高炉内空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应炉 腔内载片 结构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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