[实用新型]一种硅片烘干炉的硅片传送装置

摘要

本实用新型涉及硅片技术领域，且公开了一种硅片烘干炉的硅片传送装置，包括箱体，所述箱体的内部固定连接有支柱，所述支柱的内部固定连接有转轴，所述转轴的外壁固定连接有转盘，所述转盘的外壁活动连接有第一传送带，所述第一传送带的外壁固定连接有固定块，所述固定块的内部开设有固定槽，所述电动推杆的右侧固定连接有固定杆，所述固定杆的右侧固定连接有支架，所述支架的内部固定连接有进料管，所述进料管的左侧活动连接有活动管，所述箱体的内部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的外壁活动连接有第二传送带。该硅片烘干炉的硅片传送装置，具备硅片烘干单次上料完成所有面的烘干，方便上料，方便传送，方便下料等优点。