[实用新型]一种用于进气管居中性校准工装

摘要

本实用新型涉及一种用于进气管居中性校准工装，包括相配合使用的校准螺杆和校准环；校准环为圆柱体，校准环的中心有一通孔，校准环的边缘均布有四个定位孔，四个校准螺杆分别与四个定位孔连接，四个校准螺杆的尾部位于通孔内。本实用新型提供的用于进气管居中性校准工装，校准环将进气内管控制在居中位置，校准螺杆拧入后将进气内管固定，使内进气管在外进气管居中位置，使反应气体的气流分布均匀，充分利用炉内反应气体，改善大坩埚的表面厚度均匀性，提高反应气体的利用率。