[实用新型]一种二维AlN/GaN HEMT射频器件有效
申请号: | 202021131507.8 | 申请日: | 2020-06-18 |
公开(公告)号: | CN212380426U | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
发明(设计)人: | 李国强;孙佩椰;王文樑 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L21/335 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 王东东 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本实用新型公开了一种二维AlN/GaN HEMT射频器件,包括衬底、GaN沟道层、二维AlN势垒层、SiN |
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搜索关键词: | 一种 二维 aln gan hemt 射频 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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