[实用新型]盖子、固定装置以及电子束蒸镀装置有效
| 申请号： | 202021139405.0 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN212476867U | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 曹乐;张希山;胡旭峰 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种盖子、固定装置以及电子束蒸镀装置，在蒸镀过程中，能够减小盖子与基片间的摩擦力，从而减小因摩擦导致基片表面受损的风险，保证基片的蒸镀质量，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 盖子 固定 装置 以及 电子束 | ||
【主权项】：
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