[实用新型]一种栅极金属结构及其III族氮化物器件有效
| 申请号： | 202021141002.X | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN212230435U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 孙希国;蔡文必;刘胜厚 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/47;H01L29/49;H01L29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了应用于III族氮化物器件结构，所述栅极金属结构设置于III族氮化物器件的III族氮化物层上，所述栅极金属结构包含第一金属层；所述栅极金属结构还包含第二金属层，所述第二金属层设置于III族氮化物层与所述第一金属层之间，以及公开了采用上述栅极金属结构的III族氮化物器件，本实用新型具备改善III族氮化物器件阈值电压的稳定性，提高III族氮化物器件的可靠性特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 栅极 金属结构 及其 iii 氮化物 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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