[实用新型]光伏电池片石墨舟有效
申请号: | 202021143657.0 | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN211929453U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 陈庆敏;吴晓松;李丙科;朱加杰;李建新 | 申请(专利权)人: | 无锡松煜科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C23C16/458 |
代理公司: | 江苏漫修律师事务所 32291 | 代理人: | 熊启奎;周晓东 |
地址: | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种光伏电池片石墨舟,包括若干片依次交错分布的第一石墨舟片和第二石墨舟片,第一石墨舟片和第二石墨舟片通过石墨棒串接在一起,第一石墨舟片和第二石墨舟片通过间隔块间隔相等距离;第一石墨舟片和第二石墨舟片上均开设有等距的一组开窗,第一石墨舟片和第二石墨舟片的开窗相互对应,开窗的形状以硅片放置后的位置作为参照,开窗的四个顶点位于硅片四个边的中心线上,且四个顶点到达硅片中心的距离相同,开窗的四个顶点向对向开口或者向邻近两点开口,硅片的四个顶角对应的位置为实心结构。本实用新型能够满足大尺寸硅片的镀膜工艺,使接触电阻更加均匀,降低吸热,确保镀膜工艺的优良率。 | ||
搜索关键词: | 电池 石墨 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造