[实用新型]测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置有效
| 申请号： | 202021175988.2 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN212963949U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 徐凡颀;卢恒;延英;莫泽;陈风楠 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01H9/00;H01P3/08 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微波和光学领域，为解决极低温下纳米谐振器振动模式难以测量的问题，公开了一种测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置，纳米谐振器安装在PCB电路板上，固定在低温恒温器内的五轴位移器上，并通过柔性波导和同轴线与激励电源和频率测试装置通信。激励电源产生激励信号使纳米谐振器发生振动。激光器产生的激光经调节，入射到低温恒温器中。移动五轴位移器，使激光照射到纳米谐振器的不同部位均匀分布的若干个点上。通过各点反射光强度的变化，得到该点处纳米谐振器薄膜与衬底的距离，绘制出纳米谐振器的振动模式。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 低温 纳米 谐振器 振动 模式 装置 | ||
【主权项】：
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