[实用新型]衍射光学元件、TOF深度传感器、光学系统及装置有效
申请号: | 202021194567.4 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN212379600U | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
发明(设计)人: | 鞠晓山;冯坤亮;李宗政 | 申请(专利权)人: | 欧菲微电子技术有限公司 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B27/10;G03B15/02;G01S17/36;G01S17/89 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 左帮胜 |
地址: | 330200 江西省南昌市南昌*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本申请涉及一种衍射光学元件、TOF深度传感器、光学系统及装置。上述衍射光学元件,通过在基底上形成若干个岛状结构,并且每一个所述岛状结构在所述基底上的投影覆盖至少四个像素区域,确保了衍射光学元件的微结构中没有孤岛结构,即确保了衍射光学元件的微结构中没有特别小的凸起结构,有利于通过纳米压印光刻技术进行大量的复制。上述衍射光学元件抑制了孤立岛状结构的产生,即确保了每一个岛状结构的尺寸,进而确保了所述岛状结构离模时不易残留孤岛结构并且不易被拔除。 | ||
搜索关键词: | 衍射 光学 元件 tof 深度 传感器 光学系统 装置 | ||
【主权项】:
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