[实用新型]一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块

摘要

本实用新型公开了一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，涉及静压技术领域，包括：静压滑块和与之配合的导轨，所述静压滑块包括本体、压电陶瓷驱动器、静压油垫、薄膜、挡板和位移传感器。所述薄膜与导轨之间形成油垫间隙，可通过控制压电陶瓷驱动器实现对油垫间隙大小的主动控制。所述位移传感器位于本体内静压滑块与导轨配合处，以测量静压滑块与导轨的配合间隙，作为控制的反馈信号。有益效果是，实现对油垫间隙的实时控制，以适应导轨加工误差和外部载荷变化，显著提高滑块的运动精度。通过对薄膜和静压油垫采用压力油进行预压，起到抑制薄膜以及静压油垫冲击振动和减小工作油路压力脉动的作用，使静压滑块模块更加稳定可靠。