[实用新型]涂胶显影设备专用恒温恒湿设备有效
| 申请号： | 202021227809.5 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN212720078U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李超 | 申请（专利权）人： | 西安稳能微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F24F5/00 | 分类号： | F24F5/00;G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 汉中市铭源专利代理事务所(普通合伙) 61235 | 代理人： | 周沛臣 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及工业领域，尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备。涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱(5)，集合水箱(5)连接热交换器(4)，厂务端工业纯水进入端(1)也连接热交换器(4)，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端(1)来的低温工业纯水在热交换器(4)中能够进行热交换，热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端(2)流出，流出后能够通过管道流动到加热水箱(6)，该连接加热水箱(6)的管道上包含温度传感器(3)。1.缩短热交换完成后升温的纯水降温速度。2。缩短总体纯水降温加热的速度。3.提高精密度。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 显影 设备 专用 恒温 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安稳能微电子科技有限公司，未经西安稳能微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021227809.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
