[实用新型]边缘研磨设备

摘要

本实用新型提供一种边缘研磨设备，该边缘研磨设备包括多个用于进行边缘研磨的研磨垫，边缘研磨设备还包括支撑架、压力传感器和驱动件；研磨垫设置于支撑架上，压力传感器设置于研磨垫和支撑架之间，压力传感器用于检测研磨垫与支撑架之间的压力，驱动件的输出端与支撑架固定连接，驱动件用于根据压力传感器检测的压力驱动支撑架移动。这样控制支撑架的位置，使得压力传感器检测到的压力值一定，也就是使得研磨垫与待研磨晶圆之间的接触效果是一定的，从而保证研磨效果的稳定性和一致性，进一步的，通过检测支撑架的移动距离，能够检测出研磨垫的磨损情况，有助于提高对于研磨垫寿命检测的准确程度。