[实用新型]一种基板切割装置有效
| 申请号： | 202021234766.3 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN212864572U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 袁明峰;朱鹏程;凌步军;滕宇;赵有伟;孙月飞;冷志斌;冯高俊;吕金鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/08 | 分类号： | C03B33/08;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林凡燕 |
| 地址： | 225600 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基板切割装置，包括，上料区，用于运送基板；切割区，设置在所述上料区的一侧，用于切割所述基板，以将所述基板切割成多个子基板，所述切割区内设置有激光器，保护单元，冷却单元和监控单元；所述保护单元，所述冷却单元和所述监控单元均连接所述激光器；检查区，设置在所述切割区的一侧，用于检测激光束的状态；下料区，设置在所述切割区远离所述上料区的一侧，用于运送所述多个子基板；移动部件，设置在所述切割区和所述检查区之间，将所述激光器从所述切割区移动至所述检查区。本发明提出的基板切割装置可以提高加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 装置 | ||
【主权项】：
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