[实用新型]一种薄膜吸附移载装置有效
| 申请号： | 202021234873.6 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN213010716U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 尤官京;冯杰;丁进新 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇创达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 深圳市辉泓专利代理有限公司 44510 | 代理人： | 刘海军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜吸附移载装置，本实用新型通过将薄膜吸附组件设置在设置于机架上，其中薄膜吸附组件包含底板、吸附底板和吸附面板，吸附底板和吸附面板之间密封连接，吸附底板通过滑杆与底板滑动连接，采用这种方式，吸附组件在下压吸附的过程中能有足够的缓冲余量，能避免对薄膜造成机械损伤；同时，通过在吸附底板和吸附面板之间设置真空腔，真空腔可以通过管道与真空抽气设备连接，并且在吸附面板上设有与真空腔相通的吸附孔，吸附孔可以均匀的设置在吸附面板上，采用这种方式，能对薄膜提供均匀的吸附力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 吸附 装置 | ||
【主权项】：
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