[实用新型]振动传感器有效
申请号: | 202021259127.2 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN218679379U | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 曾鹏;陈兴福 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R19/00 | 分类号: | H04R19/00;H04R19/04 |
代理公司: | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人: | 刘伟 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种振动传感器,其包括电路板、内壳、外壳、MEMS麦克风及振膜组件;电路板具有板腔且设有第一通孔;内壳盖设固定于电路板并覆盖第一通孔,内壳与电路板共同围成谐振腔,内壳设有第二通孔;外壳盖设固定于电路板并将内壳收容,外壳、内壳及电路板共同围成收容腔;MEMS麦克风收容于谐振腔内并与电路板电性连接;第一振膜与背极板间隔形成电容结构;振膜组件收容于收容腔内并将收容腔分隔成第一腔和第二腔,第一腔通过第二通孔与谐振腔连通。与相关技术相比,本实用新型的振动传感器灵敏度更高,可靠性更好。 | ||
搜索关键词: | 振动 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司,未经瑞声声学科技(深圳)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202021259127.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:以完成液为原料蒸馏制备氢溴酸的设备
- 下一篇:振动传感器