[实用新型]一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台有效
| 申请号： | 202021261186.3 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN212324014U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 张莹;文杰;贾静 | 申请（专利权）人： | 三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/04 | 分类号： | H02N2/04;H02N2/02;G12B5/00 |
| 代理公司： | 天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙) 12230 | 代理人： | 王力强 |
| 地址： | 301700 天津市武清区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型属于纳米扫描平台技术领域，尤其涉及一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，包括平台X轴、平台Y轴、平台Z轴、X轴菱形放大机构、Y轴菱形放大机构、Z轴铰链、X轴压电陶瓷、Y轴压电陶瓷、Z轴压电陶瓷、平台动态机构、X轴静态板、Y轴静态板、X轴传感器、Y轴传感器和Z轴传感器，所述平台动态机构包括中心圆环、X轴解耦铰链、Y轴解耦铰链、正方形框架、X轴挡板、Y轴挡板、X轴动态板和Y轴动态板。为了使纳米扫描平台设计尺寸缩小、使X轴和Y轴方向平动时平台动态机构不会产生旋转，本实用新型提供一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 菱形 位移 放大 机构 纳米 扫描 平台 | ||
【主权项】：
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