[实用新型]振动传感器有效
| 申请号： | 202021263081.1 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN212785847U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 曾鹏;陈志远 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板、外壳、振动组件以及MEMS麦克风；振动组件包括垫片、振膜以及质量块；垫片、振膜和电路板共同围成第一腔，振动组件还设有贯穿其上的第一泄压孔；MEMS麦克风包括固定于振膜的基底和支撑于基底远离振膜一端并与振膜间隔形成电容结构的背极板，基底、背极板和振膜共同围成第二腔，第一泄压孔将第一腔和第二腔连通；外壳设有贯穿其上的第二泄压孔；外壳背离谐振腔的一侧和/或电路板背离谐振腔的一侧输入振动信号或压力信号时，振动组件振动，并使第一腔内的气压产生变化。与相关技术相比，本实用新型的振动传感器灵敏度更高，便于生产。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 | ||
【主权项】：
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