[实用新型]一种气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种气相沉积装置，包括进气总管、反应管、加热机构、支撑台和用于输送常温保护气的水相冷却进气机构；加热机构装设于支撑台上，反应管穿过加热机构设置；反应管的进气端与进气总管连通，反应管的出气端与一排气机构可拆卸连接，以使被催化样品能够从反应管的出气端置入反应管中；进气总管远离反应管的一端分别通过第一进气管、第二进气管和第三进气管与不同的气体输送机构连通，分别用于为反应管输送碳源气体、还原性气体和保护气；水相冷却进气机构与进气总管连通；水相冷却进气机构的出气端位于第三进气管与反应管间，水相冷却进气机构的进气端位于进气总管下方。本实用新型可提高碳纳米管的强度。