[实用新型]一种硅片加工用均胶机有效

专利信息
申请号: 202021267532.9 申请日: 2020-07-01
公开(公告)号: CN212916355U 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 李伟东 申请(专利权)人: 广州澳蓝仪器设备有限公司
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C11/08;B05C13/02;B05C11/10;B05C15/00
代理公司: 深圳龙图腾专利代理有限公司 44541 代理人: 姜书新
地址: 511458 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种硅片加工用均胶机,包括底座和固定安装在底座上的多个均胶箱,所述底座内开设有传动区,所述传动区内安装有传动机构,多个所述均胶箱内均安装有安装台,多个所述安装台底部分别连接传动机构;所述均胶箱内还安装有胶液回收机构,所述胶液回收机构包括收胶箱和固定安装在均胶箱内的第一导流板,所述第一导流板的末端设置有连通孔,所述连通孔均胶箱和开设于底座内部的胶液槽连通,所述胶液槽底部固定安装有第二导流板,所述第二导流板的末端设置有出胶口,本实用新型通过设置多个均胶箱和作用于均胶箱的传动机构,使得该装置能够在同一时刻对多个硅片进行加工,同时还通过胶液回收机构对使用过的胶液进行快速回收。
搜索关键词: 一种 硅片 工用 均胶机
【主权项】:
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