[实用新型]一种椭偏测量装置

摘要

本申请公开了一种椭偏测量装置，包括基板、样品台、检测部件、角度切换机构和角度定位机构；样品台固定安装在基板上，样品台台面为平面；角度切换机构转动安装在基板上，角度切换机构的转动轴线位于检测面内；检测部件包括起偏臂和检偏臂，起偏臂和检偏臂安装在角度切换机构上；角度定位机构安装在工作平台上，通过刚性抵触限位或自锁结构限定角度切换机构的转动角度。本申请的椭偏测量装置，无需再变换样品台或改变样品台方位，具有结构简单、操作简捷、重复定位精度高的优点，可实现多种类样品采用相同放置位置，降低测试过程中样品碎片风险，实现样品的任意点测试，提高测试效率。