[实用新型]一种多种气体混配供应装置有效
| 申请号： | 202021284827.7 | 申请日： | 2020-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN212701398U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 郭明华;周翔 | 申请（专利权）人： | 深圳融科科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/04;B01F3/20;B01F3/22;B01F15/00 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多种气体混配供应装置，涉及气体混配领域，包括配气阀箱和安装板,所述配气阀箱内设有安装板，所述安装板的顶面设有低压手动隔膜阀、低压气动隔膜阀、单向阀A、单向阀B、过滤器、氨气纯化器、氮气纯化器、氢气纯化器、氯化氢纯化器、混合气纯化器、氨气质量流量控制器、氮气质量流量控制器、氢气质量流量控制器、氯化氢质量流量控制器、混合气质量流量控制器A和混合气质量流量控制器B,所述氨气纯化器的底端通过管道与氨气质量流量控制器固定连接，本实用新型采用气体质量流量计进行体积配比，严格控制配比浓度，在入口端配置气体纯化器，避免受污染的工艺气体进入工艺设备腔体，有效提高了系统供气的稳定安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多种 气体 供应 装置 | ||
【主权项】：
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