[实用新型]一种特殊气体全自动不间断供气设备

摘要

本实用新型公开了一种特殊气体全自动不间断供气设备，包括第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块；第一工艺气体供应模块和第二工艺气体供应模块用于供应特殊气体，并对工艺气体进行过滤、稳压处理；扫抽真空模块用于在更换钢瓶前将残留有害气体、颗粒物吹扫外置；高压测漏模块用于供气前对气路管道加压检测。本实用新型可实现左右钢瓶全自动无缝切换，根据系统的压力自动切换供气，保证气体供应不间断，还可实现远程控制紧急切断气体供应，以及管路吹扫抽真空和高压测漏的功能，本实用新型从安全第一的角度出发，在集中供应管理、方便操作、高纯度供应等方面都做到了兼顾。