[实用新型]一种节能型半导体加工用石英片抛光设备有效

专利信息
申请号: 202021297103.6 申请日: 2020-07-06
公开(公告)号: CN213411561U 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 孔凡波;孔涛 申请(专利权)人: 连云港源都石英科技有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/06;B24B47/22;B28D1/24;B28D7/04;B28D7/00;F26B21/00;F26B25/18;B08B3/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 222313 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种节能型半导体加工用石英片抛光设备,包括工作台、L形支架、抛光支架、清洁箱和推杆,所述工作台的顶部通过螺栓连接有L形支架,所述L形支架顶部的内侧设置有滑轨A,所述抛光支架通过顶部滑块与滑轨A滑动连接,所述抛光支架内的底部设置有抛光电机,所述抛光电机通过驱动轴连接有抛光轮,所述L形支架的内侧位于抛光支架一侧通过螺栓连接有切割支架,所述切割支架内的一侧设置有切割电机,所述切割电机通过驱动轴连接有切刀,所述L形支架的一侧位于抛光支架的底部设置有抛光台,所述抛光台的顶部设置有抛光槽,所述工作台的表面位于抛光台的两侧设置有滑轨B。本实用新型功能多样,使用方便,能够对石英片进行抛光切割清洗处理。
搜索关键词: 一种 节能型 半导体 工用 石英 抛光 设备
【主权项】:
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