[实用新型]一种节能型半导体加工用石英片抛光设备有效
申请号: | 202021297103.6 | 申请日: | 2020-07-06 |
公开(公告)号: | CN213411561U | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 孔凡波;孔涛 | 申请(专利权)人: | 连云港源都石英科技有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B47/22;B28D1/24;B28D7/04;B28D7/00;F26B21/00;F26B25/18;B08B3/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 222313 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种节能型半导体加工用石英片抛光设备,包括工作台、L形支架、抛光支架、清洁箱和推杆,所述工作台的顶部通过螺栓连接有L形支架,所述L形支架顶部的内侧设置有滑轨A,所述抛光支架通过顶部滑块与滑轨A滑动连接,所述抛光支架内的底部设置有抛光电机,所述抛光电机通过驱动轴连接有抛光轮,所述L形支架的内侧位于抛光支架一侧通过螺栓连接有切割支架,所述切割支架内的一侧设置有切割电机,所述切割电机通过驱动轴连接有切刀,所述L形支架的一侧位于抛光支架的底部设置有抛光台,所述抛光台的顶部设置有抛光槽,所述工作台的表面位于抛光台的两侧设置有滑轨B。本实用新型功能多样,使用方便,能够对石英片进行抛光切割清洗处理。 | ||
搜索关键词: | 一种 节能型 半导体 工用 石英 抛光 设备 | ||
【主权项】:
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