[实用新型]一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构

摘要

本实用新型提供一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构。化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，包括：炉体；插孔，所述插孔开设在炉体的一侧上；热电偶，所述热电偶滑动安装在插孔内，所述热电偶的一端延伸至炉体外；两个方块，两个所述方块均固定安装在炉体的一侧上；两个装孔，两个所述装孔分别开设在两个所述方块相互靠近的一侧上；两个弧形块，两个所述弧形块均设在两个所述方块之间，两个所述弧形块相适配；两个定块，两个所述定块分别固定安装在对应的所述弧形块上。本实用新型提供的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构具有使用方便、便于对热电偶进行安装跟换，保证热电偶连接的稳定连接性的优点。