[实用新型]超大基板补晶设备

摘要

本申请提供了一种超大基板补晶设备，包括机台，其顶面上设有点胶工位、填晶工位和供晶工位，点胶工位和供晶工位相接于填晶工位的两侧；输送平台，设于机台的顶面上，并贯穿点胶工位和填晶工位，用于运送超大基板；点胶机构，设于点胶工位处，用于在超大基板的缺晶位置补胶；填晶机构，设于填晶工位处，用于抓取晶片和将晶片填补在超大基板的缺晶位置上；以及供晶机构，设于供晶工位处，用于存放晶圆和将晶片运送到填晶工位处。本申请提供的超大基板补晶设备采用了机台将输送平台、点胶机构、填晶机构和供晶机构紧凑地串联在一起，使得结构更加紧凑，通过输送平台、点胶机构、填晶机构和供晶机构相互配合来精确地完成补晶任务，使得补晶效率更高。