[实用新型]一种MEMS陀螺仪及电子产品有效
| 申请号： | 202021346446.7 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN213120570U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 占瞻;马昭;杨珊;李杨;谭秋喻;洪燕;黎家健;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品，MEMS陀螺仪包括基底、第一环形件、第二环形件、连接组件、固定件、第二辐条及电极组件，通过电极组件驱动第一环形件及第二环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测第一环形件及第二环形件沿与第一方向的夹角呈45度方向或与第一方向的夹角呈135度方向的振动位移，利用环形陀螺仪几何结构高度对称的特征，提高陀螺仪的灵敏度，同时具有更大的刚度，更高的模态频率，提高抗振动特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 电子产品 | ||
【主权项】：
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