[实用新型]一种MEMS陀螺仪及电子产品有效
| 申请号： | 202021346590.0 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN213985134U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 马昭;占瞻;杨珊;李杨;谭秋喻;洪燕;黎家健;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品，MEMS陀螺仪包括基底、固定件、环形件及电极组件，通过电极组件驱动环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测环形件沿与第一方向呈45°或135°夹角的第三方向的振动位移，一方面利用圆环形陀螺仪几何结构高度对称的特征，提高陀螺仪的灵敏度，另一方面波浪形的环形件，降低变形难度，提高陀螺仪的品质因数，且环形开槽能够释放活动结构环形件，并形成环形件与电极组件之间的间隙，从而形成电容，进而提高MEMS陀螺仪的灵敏度，同时，相比于现有技术中的半球形陀螺仪，具有更高的空间利用率，在轴向上具有更小的刻蚀深度，降低了工艺难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 电子产品 | ||
【主权项】：
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