[实用新型]一种化学气相沉积炉进气分布装置

摘要

本实用新型提供一种化学气相沉积炉进气分布装置。所述化学气相沉积炉进气分布装置包括：气相沉积炉进气分布设备本体；气相沉积炉体，所述气相沉积炉体包含在气相沉积炉进气分布设备本体内；排气孔，所述排气孔开设在气相沉积炉体的顶部；环形连接板，所述环形连接板固定安装在气相沉积炉体的顶部；导流管一，所述导流管一固定安装在环形连接板上；方形收纳箱，所述方形收纳箱设置在气相沉积炉体的一侧，所述方形收纳箱的顶部设有开口。本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置具有使用方便，能够简单有效的对排出的空气进行四级过滤，避免污染资源，操作起来简单便捷的优点。