[实用新型]一种晶圆棒切割设备

摘要

一种晶圆棒切割设备，包括基台、移动平台、切割装置支架、缠绕电机、金刚线轴、金刚线、线轮、液压缸支架、滑杆、液压缸、线轮支架、切削液储液桶、软管、喷嘴、固定工装。本实用新型通过缠绕电机带动金刚线轴高速旋转，使得位于同一位置的金刚线高速移动，通过磁浮电机带动移动平台实现XY方向的位移，使位于线轮之间的金刚线形成线锯的切割效果，通过液压缸可以调整金刚线的张紧程度，配合切削液的研磨和散热效果，加强了金刚线的切割能力，由于金刚线直径较小，切割精度高，解决了传统切割刀具造成的切削面损伤层较大、较厚的问题，无需留出足够的切割余量，从切割精度及预留切割余量两个方面减小了原材料的浪费。