[实用新型]水平湿制程的输送装置有效
| 申请号： | 202021375203.6 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN213078876U | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 黄乃为;林文彬 | 申请（专利权）人： | 联策科技股份有限公司;雷冈科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种水平湿制程的输送装置，应用于湿制程设备。输送装置利用驱动器驱动以输送弧状可挠性基板，弧状可挠性基板由可制造弧面的治具所固定而成。输送装置包括本体以及二列对夹抵压轮组，二列对夹抵压轮组分别设置于本体的两侧。二列对夹抵压轮组具有相对应的上抵压轮与下抵压，且位于本体的传输区域中，上抵压轮用以抵压位于治具上的弧状可挠性基板的上表面，下抵压用以抵压治具的下表面。于湿制程过程中，利用二列对夹抵压轮组定位弧状可挠性基板，可提高定位稳定性且操作便利。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 湿制程 输送 装置 | ||
【主权项】：
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