[实用新型]一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器有效
| 申请号： | 202021380139.0 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN212513174U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 胡华才;李良 | 申请（专利权）人： | 河源市星通时频电子有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/688 | 分类号： | G01F1/688 |
| 代理公司： | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人： | 何兵;饶盛添 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开发*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器，包括底座、外壳以及MEMS热线式气流传感器芯片，所述MEMS热线式气流传感器芯片固定在所述底座上，所述外壳同样设置在所述底座上，且所述外壳罩住所述MEMS热线式气流传感器芯片，所述MEMS热线式气流传感器芯片通过金线与所述底座的引脚邦定，所述外壳上设置有两个对流孔便于气流流过所述MEMS热线式气流传感器芯片的表面。本实用新型由于采用了MEMS热线式气体流量传感器，具备体积小、能耗低、响应快等特点，利用对流孔通道与芯片表面相切设计，可以减小回风干扰以及减小芯片对气流通道阻碍的影响，从而在保证高性能的同时实现了小尺寸封装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 热线 技术 气体 流量传感器 | ||
【主权项】：
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