[实用新型]托盘机构及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202021383566.4 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN212983040U | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李浩永;曹景博;蔡瑞芝;李灿;吴相;韩冰融 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李琴 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀技术领域,公开了一种托盘机构及蒸镀设备,该托盘机构包括托盘本体；滚轮，滚轮用于带动托盘沿第一方向移动；收集装置，收集装置与托盘本体连接，收集装置包括第一收集部，第一收集部在支撑面所在平面的正投影完全覆盖滚轮在支撑面所在平面的正投影。当利用In line方式进行蒸镀时，颗粒物在自身重力的作用下会向位于滚轮下方的第一收集部移动，最终落在第一收集部上，大大减少了颗粒物附着至玻璃基板表面的现象，有效减少了OLED面板出现暗点的情况。另外，由于收集装置与托盘本体连接，则当托盘本体移动时，收集装置也会随之移动，能够做到对颗粒物的实时收集，进一步保障颗粒物收集的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 机构 设备 | ||
【主权项】：
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