[实用新型]真空干燥装置有效
| 申请号： | 202021383605.0 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN213228043U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王思元;韦艳君;王允军 | 申请（专利权）人： | 苏州星烁纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00;F26B5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供真空干燥装置，其包括真空腔室，主气流管道，所述主气流管道与所述真空腔室连接，承载台，位于所述真空腔室内部，及基板罩，位于所述真空腔室内部，其中，所述承载台用于放置所述基板，所述基板包括多个像素坑，所述基板罩设置于所述基板上，所述基板罩遮挡所述像素坑的周边区域。通过基板罩遮挡像素坑的周边区域，使得在真空干燥过程中像素坑内气流均匀稳定，有利于像素坑中的功能层材料墨滴溶剂挥发速率平衡，进而提高成膜均匀性，改善器件发光性能。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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