[实用新型]一种AlGaN基石墨烯模板紫外探测器

摘要

本实用新型涉及紫外线探测器技术领域，提出了一种AlGaN基石墨烯模板紫外探测器，包括衬底、依次设置于衬底上的AlGaN/AlN超晶格层、i型Alx1Ga1‑x1N本征层及异质结pin结构层，衬底与AlGaN/AlN超晶格层之间设置有石墨烯模板散热层，异质结pin结构层两侧及其顶部分别设置有n型电极和p型电极，石墨烯模板散热层的厚度为10nm‑150nm，该探测器有效提高了探测器的散热效率及光电转换效率，防止探测器各层材料之间的分层及破坏，同时降低探测器的制作难度。