[实用新型]基板载具和电镀设备有效
| 申请号： | 202021385314.5 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN212713792U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 刘英伟;张国才;袁广才;曹占锋;王珂;董士豪;姚舜禹 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D5/54 | 分类号： | C25D5/54;C25D17/06;C25D17/10 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艳新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板载具，包括：承载结构和盖板结构，所述承载结构用于承载待电镀的基板，所述盖板结构设置在所述承载结构的一侧，用于压覆所述基板的边缘，其中，所述盖板结构包括：具有电镀开口的边框；盖板电极，所述盖板电极设置在所述边框靠近所述承载结构的一侧；辅助电极，所述辅助电极设置在所述边框远离所述承载结构的一侧，所述辅助电极环绕所述电镀开口设置，所述辅助电极与所述盖板电极电连接。本实用新型还提供一种电镀设备。本实用新型能够提高电镀膜层的厚度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 电镀 设备 | ||
【主权项】：
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