[实用新型]一种流体化学品智能供应系统有效
| 申请号： | 202021388884.X | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN213542078U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 罗保兴 | 申请（专利权）人： | 上海吉啸电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D1/08;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02;F17C13/02;F17C13/04;H01L21/205;H01L21/365 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 201400 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种流体化学品智能供应系统，具体涉及半导体制造领域。该系统主要包括主箱柜、电控箱、上门、下门、原液钢瓶、供液钢瓶、操控屏、控制管路、监测传感器。原液钢瓶是用于供给设备流体化学品；供液钢瓶是为设备系统供应原液到管道输出单元；操控屏是设置运行参数和系统的人机交互界面；控制管路用于液体化学品的供应控制；监测传感器用于管路系统运行过程中的监测。本实用新型推进了半导体加工设备的升级，优化晶圆制造环节的方案，主要针对是晶圆制造过程中化学气相沉积环节，通过流体化学品智能供应系统可以安全及集中供应液体化学品到芯片加工设备，为促进我国芯片制造升级迈进一步。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 化学品 智能 供应 系统 | ||
【主权项】：
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