[实用新型]一种用于新型研磨设备驱动结构有效
| 申请号： | 202021392206.0 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN213731162U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 滕祥飞 | 申请（专利权）人： | 惠晶显示科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B24B47/16 | 分类号： | B24B47/16;B24B47/12;B24B37/10 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 215000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及研磨设备技术领域，尤其是一种用于新型研磨设备驱动结构,包括设备主体，设备主体的顶部安装有X轴驱动机构，X轴驱动机构包括导向座，导向座固定安装在设备主体的顶部，导向座内侧开设有滑槽，滑槽内滑动安装有滑动座，滑动座内壁的上下两端均固定安装有齿条，滑动座的中部安装有半齿轮，半齿轮通过轴承与设备主体转动连接，两个齿条均可与半齿轮啮合；滑动座的顶部安装有Y轴驱动机构，Y轴驱动机构包括伸缩气缸、安装座和上定盘。本实用新型可以大幅提升研磨垫的使用寿命，并且大幅降低维护人员困难度和疲劳度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 新型 研磨 设备 驱动 结构 | ||
【主权项】：
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