[实用新型]一种满足大尺寸硅片的烧结炉有效
| 申请号： | 202021395815.1 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN212778587U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 仇慧生;朱德成;芮瞻飞 | 申请（专利权）人： | 环晟光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/04 | 分类号： | F27B9/04;F27B9/10;F27B9/24;F27B9/30;F27B9/36 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 214200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及烧结炉技术领域，且公开了一种满足大尺寸硅片的烧结炉，包括炉体，所述炉体的左右两侧均开设有开口，所述开口的内部设置有网带输送机，所述炉体内壁的前后两侧均固定连接有红外加热灯管，所述红外加热灯管位于网带输送机的上下两侧，所述炉体的底部固定连接有支撑柱，所述炉体的底部开设有气孔，所述气孔的内壁固定连通有进气管，所述进气管的表面固定连通有导气板，所述导气板的上表面开设有导气槽。本实用新型通过设置两个进气管，使炉体内的气场可根据需要进行调节，进而该烧结炉对较大硅片的烧结效果，同时，在导气板、导气槽、密封机构和分流板的配合下，使进气管内的气体均匀的吹在网带输送机上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 满足 尺寸 硅片 烧结炉 | ||
【主权项】：
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