[实用新型]一种修整结构有效
| 申请号： | 202021402710.4 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN213164883U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 贺云鹏;赵晟佑 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/14 | 分类号： | B24B53/14;B24B53/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 胡影;李红标 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种修整结构，修整结构包括：修整轮，所述修整轮的至少一侧表面设有研磨粒，所述修整轮上设有所述研磨粒的一侧表面设有沟槽。在利用修整结构修整抛光垫的过程中，研磨碎屑能够进入沟槽中，通过沟槽可以容纳研磨碎屑，避免碎屑堆积，避免碎屑对抛光垫的表面带来损伤，以便获得较好的抛光垫的表面形态，提高抛光垫的修整效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 修整 结构 | ||
【主权项】：
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