[实用新型]一种氮化镓生产尾气处理用快接管线

摘要

本实用新型涉及一种氮化镓生产尾气处理用快接管线，属于氮化镓生产技术领域。快接管线包括过滤器和真空泵，过滤器的进气端通过硬质管线连接氮化镓生长炉的出气管，真空泵的进气端连接有第一三通管，第一三通管的进气端通过第一波纹管与所述过滤器的出气端连接，第一三通管连接真空泵，并设置有第一电动开关阀，第一三通管连接第二波纹管并设有第二电动开关阀，第二波纹管的另一端通过第二三通管连接尾气回收装置，真空泵的出气端通过第三电动开关阀连接第二三通管，各管口对接处分别通过快接件进行紧固连接。通过设置真空泵、两段三通管及三个电动开关阀使快接管线既构成尾气排出管线，同时又具备对生长炉的抽真空功能，实用方便。