[实用新型]一种涂层机的机芯构造

摘要

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是指一种涂层机的机芯构造，其包括真空容器、离子发生机构和磁性弯管机构，离子发生机构安装于真空内腔并用于产生离子，磁性弯管机构包括基座、真空弯管件、电磁线圈、靶材液冷固定组件和引弧组件，电磁线圈绕设于真空弯管件的外壁，离子发生机构产生的离子轰击靶材，产生带电的溅射原子，带电的溅射原子的移动轨迹与真空弯管件的中心轴线重合设置或平行设置，带电的溅射原子通过真空弯管件进入真空内腔。本构造能够利用气体自动产生离子，带电的溅射原子能够沿弯曲路径溅射到真空内腔的工件的表面，沉积形成镀层，还能够对靶材液冷固定组件实现快速降温，冷却效果好。