[实用新型]一种气体离化冷却机构

摘要

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种气体离化冷却机构，其包括装配基体、正极载件、负极载件、气腔基件和冷却组件，冷却组件安装于负极载件的下部，正极载件和负极载件之间产生电场，气腔基件设置于正极载件与负极载件之间，以使气腔基件位于所述电场中，气腔基件设有离子发生腔以及与离子发生腔连通的多个离子发射通孔。本机构能够产生大量的离子，作为溅射镀膜过程的轰击粒子，在气体放电的过程中负极载件处于超级高温状态，对冷却组件导入流动的冷却液，以对负极载件和气腔基件进行有效、快速的降温，延长各个部件的使用寿命。