[实用新型]溅射镀膜机有效
申请号: | 202021451314.0 | 申请日: | 2020-07-21 |
公开(公告)号: | CN212800520U | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 傅志坚;苏良民 | 申请(专利权)人: | 青岛华磊真空镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种溅射镀膜机,其技术方案要点是包括呈圆筒状设置的镀膜室、设置在镀膜室一侧的开关门、设置在镀膜室当中的轴线方向竖直设置的转动筒、设置在转动筒当中并且与转动筒同轴的固定杆、转动连接在转动筒上的若干支撑杆、设置在镀膜室底部的用于对转动筒进行转动的电机以及固定连接在镀膜室底部的用于对镀膜室进行支撑的两竖直设置的支撑板,通过电机带动转动筒进行转动,转动筒在进行转动的通过固定杆带动支撑杆进行转动,从而使得轮毂既能够围绕支撑杆的轴线转动,又能够围绕转动筒的轴线进行转动,从而使得轮毂各处都都能够靠近靶材,从而使得轮毂各处的镀膜厚度更加均匀,提高了轮毂表面镀膜的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 溅射 镀膜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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